BURKERT傳感器，寶得在線式傳感器

流即用于測量流過該氣體通道的氣體流量。
以，在選擇閥門和設計管線時必須考慮管路損失。
此外，氣源管線應盡量鋪直，無扭結
RS) 不斷被加熱，使其與介質溫度（由 RT 測得）
兩位三通伺服輔助式電磁閥
斷電時工作口 2 接出口 3 排氣
單作用終控制元件的先導閥
開關動作不需要壓差單作用終控制元件的先導閥
with integrated check
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氣動閥。經驗表明，經過 3 – 4 m 的
管線后，流量多可降低50 % ，
再經過 10 m 后，還會再降低20 – 30 %
無收縮點或彎頭，因為它們會增加管線的流量損失。
氣體通道中的一個電阻 (RT) 測量介質溫度，
另一個低阻值電阻MFC 中合適
工作原理：控制加熱電阻 (RS)
測量電阻 (RT) 之間保持一個恒定的溫差。
這兩個電阻都直接位于氣體通道內；
另外三個電阻位于氣體通道之外。這
五個電阻連接成一個測量電橋。
之間始終保持一個恒定的溫差。所需的加熱電
connection G 1/8 without check valve 156 620
從圖中也可清楚地看到：如將管線
直徑從 6/4 mm 增加到 8/6 mm，其流量也相應增大。