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**SUNX晶圓校準傳感器,神視傳感器功能
檢測頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。
實現光電傳感器同等的低功耗。
雖然使用紅色LED作為光源,
但仍然具有激光傳感器同樣的***,因此可實現*精度檢測。
投、受光部一體型,無需繁瑣的光軸調整。
并且,檢測距離及檢測寬度可以覆蓋30mm的廣闊區域,
可對應各種不同尺寸的晶圓。
模擬輸出(1~5V)除了系數調整功能之外,
還具備方便的偏移調整功能,可在±0.5V的范圍內轉換模擬電壓。
使用ONE SHOT連接器將檢測頭與控制器連接。
配線工時降至低限度,維護輕松。
使用安全的紅色LED作為光源,無需任何繁雜的安全措施。
**SUNX晶圓校準傳感器,神視傳感器功能
檢測寬度 30mm(直線性按照28mm的寬度規定)
檢測距離 30mm(固定)(注2)
能 保護構造 IP40(IEC)
使用環境溫度 0~+40℃(注意不可結露),存儲時:-20~+55℃
使用環境濕度 35~85%RH、存儲時:35~85%RH
使用環境照明度 白熾燈:受光面照明度3,000lx以下、
熒光燈:受光面照明度3,000lx以下
耐電壓 AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間
絕緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間,20MΩ以上,基于DC250V的*阻表
耐振動 頻率10~150Hz 雙振幅0.75mm X,Y和Z方向各2小時
耐沖擊 加速度490m/s2(約50G) X,Y和Z方向各3次
投光元件 紅色LED(投光波峰波長:650nm)
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