關于我們產品中心新聞中心資料下載技術文章客戶咨詢聯系我們

產品目錄

聯系我們

名稱：上海乾拓貿易有限公司
上海地址：上海市嘉定區嘉涌路99弄6號713室
聯系人;沈雪
企業QQ:2880626081
手機；18918574312（微信）
電話；021-69000975
郵箱:18918574312@163.com

聯系人：羅丹
QQ：2880626082
直線電話：021-39526590
聯系人：羅小姐 18917038407（同微信）
郵箱：18917038407@163.com

聯系人：章瑩玲
企業QQ:2880626085
手機；18918572467（微信）
電話；021-69000973
郵箱:18918572467@163.com

聯系人：王亞波
QQ:2880626088
021-39529839-8012
手機：17321056802（同微信）
郵箱:17321056802@163.com

產品資料

首頁 >>> 產品目錄 >>> 美國派克PARKER比例閥

美國派克減壓閥選型樣本

點擊看大圖

如果您對該產品感興趣的話,可以

產品名稱: 美國派克減壓閥選型樣本

產品型號: PHS520S-02-110V

產品展商: PARKER

產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

美國派克減壓閥選型樣本? 派克Veriflo產品組SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E(0.15 Cv)是市場上先進的微型超純減壓閥。產品提供精密且穩定的壓力控制，提了MFC(質量流量控制器）的，這對半導體的重復性和產量至關重要。產品同樣表現出優異的泄露完整性和底粒子生成，

美國派克減壓閥選型樣本 的詳細介紹

美國派克減壓閥選型樣本
派克Veriflo產品組SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E(0.15 Cv)是市場上先進的微型超*純減壓閥
。產品提供精密且穩定的壓力控制，提*了MFC(質量流量控制器）的**，
這對半導體**的重復性和產量至關重要。產品同樣表現出優異的泄露完整性和底粒子生成，
以減少對半導體應用中至關重要的的過程污染.
減壓閥適用于惰性氣體和腐蝕性氣體，為階躍函數流量需求變化提*出色響應。
產品采用自動定心束縛膜片設計，提供穩定閥座密封和壓力調節。沒有閥芯彈簧和閥座滯留螺紋，
·有C和W密封貼面安裝1-1/8和1-1/2
閥體尺寸·極低粒子數
·束縛膜片有效減少接液部件的彈簧，增加安全性-SMSQ2Micro0.06 Cv,SMSQ2Micro130E 0.15 Cv·出口壓力范圍:-10 psig 到60 psig
·內漏率:≤5x 10-8 scc/sec立方厘米/秒He·外漏率:2x10-10 scc/sec立方厘米/秒He·5微英寸(Ra粗糙度)電解拋光表面處理
·工作壓力范圍:-40°F至+150°F(-40°℃至+66°C)
·腐蝕性和特殊氣體·半導體工具
這樣大限度減少粒子生成和截留，進—步提*工藝清潔度和吹掃**.
SMSQ2Micro接液部件由特殊金屬制備，提供優異的耐腐蝕性和泄漏完整性
閥體材料為內部電解拋光Vericlean”316L不銹鋼。Vericlean”是派克公司的UHP超*純級不銹鋼。
膜片和閥芯材料為哈氏合金C-22R。這些材料與SMSQ2Micro系列設計特點相結合，
使SMSQ2Micro系列具有強耐腐蝕性和更*循環壽命，入口壓力*達250.
SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用與量子閥相同間距接口，符合SEMI模塊化接口規范.
SMSQ2Micro系列減壓閥的內部（閥座）密封和金屬外部密封通過氦泄漏測試，

使用質譜儀以獲得在苛刻超*純應用中的**和穩定性.

美國派克減壓閥選型樣本

相關產品

派克先導式控制閥,Parker選型參數

PARKER電磁閥 2通常閉式產品示意圖

派克氣動電磁閥,PARKER部件一覽

派克無桿氣缸訂貨號,Parker型號

銷售派克低壓軟管,PARKER外形圖

地址：上海嘉定嘉涌路99弄6號713 郵編：201812 易展提供技術支持滬ICP備09006758號-20 網站管理入口

污网站免费-污污网-污污网站大全-污污网站在线-色性综合-色亚洲色图

美國派克減壓閥選型樣本